convergencia.tech (Nano- EUV - Chips) Parte I

La litografía ultravioleta extrema (también conocida como EUV, UVE, EUVL o LUVE) es una tecnología de litografía que utiliza una gama de longitudes de onda ultravioleta extrema (UVE), que abarca aproximadamente un ancho de banda de 2 % FWHM de aproximadamente 13,5 nm.

Si bien la tecnología UVE está disponible para la producción en masa, menos de cincuenta máquinas en todo el mundo son capaces de producir obleas utilizando la técnica, en comparación, a partir de 2013, más de 200 sistemas de inmersión en litografía ultravioleta profunda (UVP o DUV por sus siglas en inglés) ya estaban implementados. A partir del tercer trimestre de 2019, 5,7 millones de obleas han sido expuestas en herramientas de producción de UVE; Se expusieron 1,7 millones de obleas solo en Q1-Q3,

mientras que el número de herramientas aumentó de 31 a 45 (del orden de 10 WPH por herramienta).

Los problemas que dificultan la adopción de UVE son los costos de las herramientas 

(los escáneres UVE de ASML pueden costar hasta US$120 millones).

A partir de 2023, ASML Holding es la única empresa que produce y vende sistemas UVE para la producción de chips, principalmente dirigidos a 5 nm. En el International Electron Devices Meeting (IEDM) de 2019,

TSMC informó del uso de UVE para 5 nm en capas de contacto, vías, líneas metálicas y cortes, donde los cortes pueden aplicarse a aletas, puertas o líneas metálicas.

A partir de septiembre de 2023, ASML es el único fabricante de máquinas de litografía que utilizan luz ultravioleta extrema (EUV). Esta tecnología permite fabricar chips con transistores más pequeños y eficientes, lo que mejora el rendimiento y reduce el consumo de energía.

Los principales fabricantes de chips que utilizan EUV son:

TSMC, Samsung Electronics, Intel, GlobalFoundries

China está trabajando para desarrollar su propia tecnología EUV. En 2022, la empresa china SMIC anunció que había logrado fabricar chips de 14 nm utilizando una tecnología de litografía no EUV. 

SMIC también está trabajando en el desarrollo de una tecnología EUV propia. Estos fabricantes utilizan EUV para producir chips de última generación, como los de 5 nm, 3 nm y 2 nm.

Fuente: wikipedia